針對半導(dǎo)體芯片制造、TFT-LCD制造、電子元件制造、印制電路板制造、電子終端產(chǎn)品制造等工藝中產(chǎn)生的各類廢氣，天得一深入研究并為其提供定制化的廢氣治理解決方案。這些廢氣主要源于生產(chǎn)過程中的多個工序，如薄膜沉積、光刻、刻蝕、清洗和涂覆等，包括CVD廢氣（含硅烷、氫氣、氨氣、含氟含磷廢氣等）、剝離液廢氣等在內(nèi)的特氣、酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣等。針對泛半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放特點，我們深入研發(fā)，為泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高效、可靠的廢氣治理方案。
CVD廢氣處理：使用高效真空泵抽取廢氣，首先經(jīng)過Local Scrubber凈化裝置進行初步處理，然后進入Central Scrubber進行深度治理。采用多種凈化方式，確保廢氣達標排放。凈化工藝涵蓋冷凝、燃燒、除塵、洗滌、吸收、吸附和靜電等多種方式.
酸性堿性廢氣、剝離液廢氣處理：采用冷凝法回收有價值的組分，然后進入集中洗滌系統(tǒng)。利用酸堿中和、多級吸收和吸附、常溫催化氧化工藝，深度凈化并消除異味。
有機廢氣處理，我們利用活性炭吸附或沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù)，將大風(fēng)量、低濃度的有機廢氣濃縮為小風(fēng)量、中高濃度的有機廢氣。隨后，這些廢氣會經(jīng)過高效的焚燒處理（如RTO/TO/CO等），確保排放濃度低于20mg/m3。
其他廢氣處理：天得一始終根據(jù)客戶的具體需求和實際情況，為其提供定制化的廢氣治理解決方案，真正解決客戶的后顧之憂。通過科學(xué)合理的廢氣治理，可以有效地減少泛半導(dǎo)體工藝對環(huán)境的影響，同時也可以保障操作人員的健康和安全。
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